精密加工和超精密加工技术的特征及其使用

超精密加工目前尚没有一致的说法，在不同的历史时期，不同的科学技能开展水平情况下，有不同的了解。通常咱们把被加工零件的尺度精度和形位精度到达零点几um，外表粗糙度优于百分之几um的加工技能称为超精细加工技术。

超精细加工的重要手法包括

①超精密切削，如超精细金刚石刀具镜面车削、销削和铣削等;
②超精密磨削、研磨和抛光;
③超精密微细加工(电子束、离子束、激光束加工以及微硅器材的加工、LIGA技能等)。



超精密加工技能市场是国家尖端技能会集的市场，它既是高代价、高投入的工艺技能，又是高增值、高回报的工艺技能，世界工业先进国家都把它放在国家技能和经济振兴的重要位置。

试举几例。
(1)超精密零件加工。例如惯性导航仪器体系中的气浮陀螺的浮子及支架、气浮陀螺马达轴承等零件的尺度精度、圆度和圆柱度都要求到达亚um级精度;人造卫星仪器轴承是真空无光滑轴承，其孔和轴的外表粗糙度Rα到达1nm，圆度和圆柱度均为纳米级精度，这些零件都是用超精细金刚石刀具镜面车削加工的。精细液压控制体系中的精细伺服阀的阀芯与阀套的配合精度也常在亚微米等级，它是用超精细磨削办法加工的。

(2)超精密异形零件加工。例如航空高速多辨防滑轴承的内滚道/激光陀螺微晶玻璃腔体，都是用超精细数控磨削加工而成的。陀螺仪框架与渠道是形状杂乱的高精度零件，是用超精细数控铣床加工的。

(3)超精密光学零件加工。例如激光陀螺的反射镜的平面度达 0.05μm，外表粉糙度Rα达0.001μm、它是由超精细抛研加工、再进行镀膜而成，终究要求反射率达99.99%。—些高精度瞄准体系要求小型化，所以用少量非球面镜来代替杂乱的光学体系。这些非球镜是用超精细车、磨、研、抛加工而成的。最近，二元光学器材的理论研讨进展很大，二元光学器材的制作设备是专用的超精细加工设备。在民用方面，隐形眼镜便是用超精细数控车床加工而成的。计算机的硬盘、光盘、复印机等高技能产品的许多精细零件都是用超精细加工手法制成的。



(4)超精密机电体系器材加工。微机电体系(ME—MS)是从集成电路制作技能开展起来的新式机电产品，如微小型传感器、执行器等。硅光刻技能、 LIGA技能和其它微细加工技能的出产设备、检测设备都是超精细加工的产品。

超精细加工技能的开展及分析

超精细加工技能是以高精度为目标的技能，它有必要归纳使用各种新技能，在各个方面精雕细镂的条件下，才有可能突破惯例技能达不到的精度界限，到达新的高精度指标。近20年来超精细加工技能在以下几个方面有很大的进展：
①超精密加工机床技能;
②超精密加工刀具及加工工艺技能;
③超精密加工的丈量与控制技能;
④超精密加工环境控制(包括恒温、隔热、洁净控制等)。
超精密加工机床的规划与制作技能



展望未来

为了赶快提升我国超精密加工的水平缓才能，应该加强超精细加工技能的研讨力度，工厂、高校和研讨所应密切合作，针对工业开展过程中的实践需求，一方面大力推广多年来咱们在超精密加工技能研讨方面取得的成果，另一方面还要继续加强基础研讨，特别是立异性研讨。推动这项技能的蓬勃开展。具体作业中应注重以下几个方面的作业。
注重世界先进科技的开展，活跃引进和跟踪高新技能
(1)注重把握先进国家的科技情报，避免低水乎重复。
(2)跟踪新原理和新工艺的研讨。
(3)适当引进先进技能与设备用于研讨和开发。
注重全职业安排，以廉价化策略为目标，进行整体规划
例如，进行超精密机床模块化虚拟出产的研讨与施行，以发挥我国有限的人力物力资源，走投入少产出多的路子。

注重工艺的“固化”作业

我国超精密加工布局涣散，工艺中的know—how是企业、车间，甚至于单个人员的秘密。给工艺“固化”作业带来很大难度，更谈不上工艺常识的同享。如何通过有用的安排建立起同享工艺资源是十分重要的。
支撑以立异为特征的基础研讨
超精密加工是处于前沿和技能极限的一个学科，每一个小的前进都需求有立异。支撑立异研讨应成为国家的行为。